מנורת ייבוש לציפוי ננומטרי

בשלב ייבוש הציפוי הננומטרי, קיים מאבק בין קצב העבודה לבין איכות הציפוי. אם פרופיל החימום משתנה אפילו במעט, עלולים להופיע פגמים זעירים בציפוי, חוסר...